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タングステンるつぼの原料と成形プロセス

タングステンるつぼに使用される主な原材料

タングステンるつぼは、主にサファイア結晶成長、シリコン単結晶炉、真空コーティング、および高温炉コンポーネントで使用される高温容器です。{{0}{1}{2}製造はタングステン粉末から始まりますが、プレスと焼結の前に、厳格な純度と粒子サイズの要件を満たす必要があります。-

1.原材料: タングステン粉末

純度:通常は 99.95% W 以上。より高いグレード(99.99%)は、金属不純物が溶融物を汚染する可能性がある要求の厳しい用途に使用されます。

粒子サイズ:FSSS の粒径は、プレスおよび焼結のルートに応じて、通常約 1 ~ 5 ミクロンの範囲に制御されます。

酸素含有量:焼結体の気孔率と特性の損失を避けるために、低い値 (通常は 0.1% 以下) に保たれます。

添加物:特定の粒子構造要件には、少量の添加物(例: 一部のランプ-グレードの製品におけるカリウム-アルミニウム-シリコンのドーピング)が使用される場合があります。標準るつぼグレードでは通常、ドープされていない粉末が使用されます。

2. ルートの形成

タングステンるつぼには 2 つの主なルートが使用されます。

焼結るつぼ:粉末をプレス(静水圧または金型プレス)し、高温(通常 2200 ~ 2400 度)で焼結して緻密な物体を形成します。中程度のサイズと低コストに適しています。

圧延/鍛造るつぼ:焼結ビレットは、鍛造および圧延によってシートに加工され、その後成形されてるつぼに溶接されます。大型サイズや機械的信頼性の向上に使用されます。

3. タングステン板の圧延(代表的なパラメータ)

タングステンは変形抵抗が非常に高いため、圧延には特殊なロール材質と予熱が必要です。以下の値は一般的な工場慣行であり、装置や製品によって異なります。

ロール予熱: 圧延条件に応じて 100 ~ 350 度。

ビレット相対密度 (実際/理論): 作業前に 90% を超える必要があります。 92~94%の最高の作業性。

熱間圧延ブランキング(ブレークダウン): 1350 ~ 1500 度。パラメータが不適切だと、ビレットの層間剥離が発生する可能性があります。

温間圧延: 1200 度付近から開始。 8 mm の熱間圧延板は、温間圧延によって約 0.5 mm まで薄くすることができます。{2}}。

箔圧延: 薄いシート (0.5 mm など) は、延性-から脆性への転移温度が高いため、室温以上では脆くなります。 200~500度で0.2mmまで圧延します。

潤滑: 後の段階では、グラファイトまたは二硫化モリブデンのコーティングにより加熱の均一性が向上し、摩擦が軽減されます。

圧延中、ロール本体は高い変形抵抗によって曲がる可能性があり、幅全体で厚さにばらつきが生じます。ロールやミルを交換すると、不均一な変形により亀裂が発生する可能性があります。

4. 品質およびアプリケーションノート

焼結密度、粒子構造、表面の完全性を検査します。溶接るつぼには健全な漏れのない溶接が必要です。{0}

タングステンるつぼの使用温度は通常、真空または不活性雰囲気では 2000 度を超えます。酸化により、約 400 ~ 500 度以上の空気中での使用が制限されます。

用途: サファイアの成長(キロプロス炉および HEM 炉)、シリコン結晶引き上げ、高温焼結およびコーティング プロセス。-

よくある質問

タングステンるつぼは何に使用されますか?タングステンるつぼは、主にサファイア結晶成長、シリコン単結晶炉、真空コーティング、および高温炉コンポーネントで使用される高温容器です。{{0}{1}{2}極端な熱条件下で動作するため、その製造は厳格な純度および粒子サイズ要件を満たす必要があるタングステン粉末から始まります。-

タングステン粉末原料はどのような仕様を満たす必要がありますか?粉末の純度は通常 99.95% W 以上で、99.99% のグレードは金属不純物が溶融物を汚染する可能性がある用途向けに確保されています。 FSSS 粒径は通常、プレスおよび焼結ルートに応じて約 1 ~ 5 ミクロンの範囲に制御され、焼結体の多孔性と特性損失を避けるために酸素含有量は通常 0.1% 以下に低く保たれ、標準るつぼグレードでは通常、ドープされていない粉末が使用されます。

タングステンるつぼの 2 つの主な形成ルートは何ですか?焼結るつぼは、プレス (静水圧またはダイ プレス) および高温 (通常 2200 ~ 2400 ℃) で焼結して緻密な本体に製造され、低コストで適度なサイズに適合します。圧延または鍛造るつぼは、焼結ビレットから始まり、鍛造および圧延してシート状にし、成形して溶接します。これが、大型サイズとより高い機械的信頼性を実現します。

タングステン板の圧延はなぜ難しいのですか?タングステンは変形抵抗が非常に高いため、圧延には特殊なロール材質と予熱が必要です。一般的な圧延方法には、100-350 ℃でのロール予熱、90% 以上のビレット相対密度(92-94% で最高の加工性)、不適切なパラメータにより層間剥離が発生する可能性がある 1350 ~ 1500 ℃での熱間圧延破壊、および 8 mm の熱間圧延プレートを約 0.5 まで減らすことができる約 1200 ℃からの温間圧延が含まれます。 mm。

薄いタングステン箔はどのように巻かれるのでしょうか?0.5 mm などの薄いシートは、タングステンの延性-から-への高い遷移温度により、室温またはその付近では脆くなります。そのため、0.2 mm までの圧延は 200 ~ 500 ℃ で実行されます。後の段階では、加熱の均一性を向上させ、摩擦を低減するための潤滑剤としてグラファイトまたは二硫化モリブデンのコーティングが使用されます。

タングステンるつぼにはどのような品質検査とサービス制限が適用されますか?焼結密度、粒子構造、表面の完全性を検査する必要があり、溶接るつぼには健全で漏れのない溶接が必要です。{0}}使用温度は通常、真空または不活性雰囲気では 2000 ℃を超えますが、空気の使用は酸化により約 400-500 ℃を超えると制限されます。典型的な用途は、キロプロス炉や HEM 炉でのサファイアの成長、シリコン結晶の引き上げ、高温焼結およびコーティングプロセスです。

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