説明
説明
単結晶シリコンウェーハは、シリコンの単結晶で構成されており、化学式はSiです。 ウェーハはまた、誘電体層を形成するために、二酸化シリコンまたは窒化シリコンなどの他の材料でコーティングされてもよい。
単結晶シリコンウェーハは、通常、直径が数ミリメートルから４５０ｍｍ以上、厚さが数ミクロンから数百ミクロンの円形である。
仕様
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直径 |
0.2-300mm |
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厚さ |
0.1-100mm |
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寸法公差 |
プラス /-0.1mm またはプラス /-0.02mm |
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表面品質（スクラッチ＆ディグ） |
60/40、40/20 以上 |
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クリアアパーチャ |
>85%, >90パーセント |
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面精度 |
L/10 L/2 L |
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並列処理 |
プラス /-3' 、プラス /-30'' |
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ベベル |
{{0}.1~0.3mm×45度 |
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コーティング |
AR、BBAR、またはカスタム |
よくある質問
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人気ラベル: パワー半導体用単結晶シリコンウェーハ
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