
説明
説明
シリコン材料のウェーハ構造は、厚さが比較的薄い。 主に丸型と四角型の2種類の構造があり、単結晶と多結晶に分けることができます。 単結晶は、半導体集積回路の基板として一般的に使用されるだけでなく、太陽電池の製造にも使用される固定された方向を持つ結晶材料です。 多結晶とは、一般的に太陽光発電や単結晶シリコンの引抜き原料に用いられる、結晶方位が一定でない結晶体のことです。 単結晶シリコンは、優れた高純度半導体材料です。
ICグレードの純度は9N(99.9999999%)以上が要求され、ゾーンフュージング単結晶シリコンシートは11N(99.999999999%)以上にも達します。 これは通常、ダイレクトプル (CZ) およびゾーンメルト (FZ) の細長い結晶によって得られ、その配向は種結晶によって決定されます。 単結晶シリコンは、現在最も重要な半導体材料であり、半導体材料市場の 90% 以上を占めており、情報技術および集積回路の基本材料です。
仕様
| 成長方法 | CZまたはFZ |
| 直径 | 1~8インチ |
| 終了 | カットしたまま、ラッピング、エッチング、SSP、DSP |
| オリエンテーション | (100) (111) (110) |
| タイプ | NまたはP |
| 抵抗率 | CZ: 0.0005 ~ 150 Ωcm FZ:10kΩcmまで |


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